Вакуумные насосы бывают сухие и масляные. Для герметизации или смазки насоса используют жидкость или масло, такой насос называется масляным. Но эта жидкость может загрязнять перекачиваемый газ. Сухие насосы меньше боятся загрязнений, там не используют растворы в проточной части. Здесь между статическими и вращающимися частями имеются уплотненные зазоры для уплотнения используют полимер, чтобы отделить перекачиваемый газ от механизма насоса.